Эпитаксиальные структуры

Диаметр (мм);Тип проводимости;Легирующая примесь;Допустимое отклонение (%);Однородность (%);Толщина (мкм);Дефекты (< 1)

50.8 ~ 150;N - тип;N;± 15;≤ 10;0.2 ~ 50;< 1 50.8 ~ 150;P - тип;Al;± 50;≤ 20;0.2 ~ 50;< 1

Подложка;Диаметр (мм);Толщина слоя (мкм);AlGaN/GaN HEMT;Морфология поверхности (5x5мкм2);Подвижность (см2/В*с);Удельное сопротивление буфера (Ω.см)

Si;50.8 ~ 200;>3;<800’’ (002)&<2000’’ (102);RMS<0.5;>1500;>105 HR Si;150 ~ 200;~2;<700’’ (002)&<1350’’ (102);RMS<0.5;>1800;>105 SiC;50.8 ~150;0.5~3;<250’’ (2 мкм GaN);RMS<0.5;>2000;>105 Сапфир;50.8 ~150;0.5~3;<400’’ (2 мкм GaN);RMS<0.5;>1500;>105

Легирующая примесь;Ориентация;Удельное сопротивление: реактор; Диаметр; Тип; Уд.сопротивление слоя;Отклонение;Толщина слоя; Отклонение;Качество поверхности

P,P+B N,N+:P, As;<100>, <111>;Групповой;100 мм;P/P++, N/N+;4x103 (P:1x102)3 Ом*см;≤ ±3%;3-100 мкм; ≤ ±3%; Без: матовости, царапин,ямок,апельсиновой корки, трещин, вороньих лапок, краевых сколов, загрязнения задней поверхности P,P+B N,N+:P, As;<100>, <111>;Групповой;125мм;N/N++,N/N+/N+;3-30 Ом*см;≤ ±5%;3-100 мкм;≤ ±3%; Без: матовости, царапин,ямок,апельсиновой корки, трещин, вороньих лапок, краевых сколов, загрязнения задней поверхности P,P+B N,N+:P, As;<100>, <111>;Групповой;150мм;N/P/P, P/N/N+;30-1000 Ом*см;≤ ±8%;3-100 мкм;≤ ±3%; Без: матовости, царапин,ямок,апельсиновой корки, трещин, вороньих лапок, краевых сколов, загрязнения задней поверхности P,P+B N,N+:P, As;<100>, <111>;Одиночный;150 мм;P/P++, N/N+;0.3-3 Ом*см;≤ ±2%;0.1-20 мкм;≤ ±2%; Без: матовости, царапин,ямок,апельсиновой корки, трещин, вороньих лапок, краевых сколов, загрязнения задней поверхности P,P+B N,N+:P, As;<100>, <111>;Одиночный;200 мм;N/N+/N++;3-30 Ом*см;≤ ±4%;0.1-20 мкм;≤ ±2%; Без: матовости, царапин,ямок,апельсиновой корки, трещин, вороньих лапок, краевых сколов, загрязнения задней поверхности

Диаметр (мм);Метод роста (мкм);Ориентация;Тип проводимости/легирующая примесь;Удельное сопротивление (Ом*см);Толщина: слой кремния; Толщина: слой оксида; Толщина: носитель

100;CZ / MCZ / FZ;<100> / <111> / <110>;P-тип: B, N-тип: As / Sb / P;0.001 ~ 20000;≥ 1.5 Шлифованная, Травленная, Полированная;0.02 ~ 5.0 Шлифованная, Травленная, Полированная;200 ~ 1250 Шлифованная, Травленная, Полированная 125;CZ / MCZ / FZ;<100> / <111> / <110>;P-тип: B,N-тип: As / Sb / P;0.001 ~ 20000;≥ 1.5 Шлифованная, Травленная, Полированная;0.02 ~ 5.0 Шлифованная, Травленная, Полированная;200 ~ 1250 Шлифованная, Травленная, Полированная 150;CZ / MCZ / FZ;<100> / <111> / <110>;P-тип: B,N-тип: As / Sb / P;0.001 ~ 20000;0.1~ 300 Шлифованная, Травленная, Полированная;0.02 ~ 5.0 Шлифованная, Травленная, Полированная; 500 ~ 750 Шлифованная, Травленная, Полированная 200;CZ / MCZ / FZ;<100> / <111> / <110>;P-тип: B,N-тип: As / Sb / P;0.001 ~ 20000;0.1~ 300 Шлифованная / Травленная / Полированная;0.02 ~ 5.0 Шлифованная / Травленная / Полированная;500 ~ 750 Шлифованная / Травленная / Полированная